工程项目的背景
杭州某半导体材料厂加工的过程中还引起高硅工业废渣处理工艺(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟工业废渣处理工艺(F⁻ 200-300mg/L)。五种工业废渣处理工艺混合型喂养后常产生氟硅酸悬浊液,传统与现代化学石雕文化沉淀法不好保持稳定考核规范。该项目要一起清理硅和氟(排放量规范:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
化工废水组成及种类
主耍部分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
因素
:晶圆刻蚀废渣、CMP机磨废渣、设施冲刷水
清理技艺具体流程
联合结晶过程
:
两极响应池
:
第一名级加药Ca(OH)₂提取CaF₂和CaSiO₃沉淀物中;
然后级加药系统PAC(汇聚氯化铝)升星水解酸化池。
固液破乳过程
:
反渗透装置系统软件
:用0.02μm管径膜部件截流氢氧化铁硅和微细结晶物。
厚度脱氟时段
:
生物脱色铝粘附塔
:多余氟铝离子溶解避开。
结果英文成效
冒水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远更为重要祖国要求。
反渗透装置机系统通量保持稳定在15LMH,耐腐蚀家电清洗频次提高至60天。
废水经压滤后含水分率<65%,可按基本上固体废弃物处理。