该厂为8英尺晶圆研发线生活设施的超蒸馏水系统,每晚所产生含硅化工废水150吨。化工废硫酸铜溶液虽无巨资属,但硅份量高易积灰,且内阻率需实现18MΩ·cm才可以回收利用。原本的治疗鑫霖环保不能足够新出台的《电子无线化工水环保问题物排出标准单位》(GB39731-2020)专门排出卫生防护距离。
废液因素亮点
具体影响物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(粒度分布0.1-1μm)
特种追求
:TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L
水的硬度功能
:低导电率(<50μS/cm)但硅类化合物特性多样化
整理新鑫霖环保图
特色化运用"梯级膜溶合+电去亚铁离子"乐队组合施工工艺:
微滤预除理
:1μm工业陶瓷膜截拦大粉末硅,通量稳定80LMH
化合物互相交换光敏树脂
:D201大孔光敏树脂选定 性离心分离硅酸分子结构
两级RO体系
:第一次段回收并率60%,第一段应用高脱硼膜pcb板
EDI电去阴离子
:功率黏度2A/m²,持继清除残余物阴离子
UV紫外线臭氧消毒
:254nm红外光谱线的用药量40mJ/cm²
技术设备突出
发展專用阻硅剂(巧妙胺类pp物),减缓膜水污染时间是3倍
EDI引擎创新性流道设计构思,硅避开率加快至99.8%
在线上硅了解仪(测量方法范围图0.1-500μg/L)建立招商精准保持
执行成效明显
经三是方检查:
总硅从280mg/L减至0.05mg/L
硼含碳量从8μg/L下降0.3μg/L
设备回收分类处理率从原40%提高自己至68%
膜换成时间是延长至至5年,年执行的成本减少35%