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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆研发线生活设施的超蒸馏水系统,每晚所产生含硅化工废水150吨。化工废硫酸铜溶液虽无巨资属,但硅份量高易积灰,且内阻率需实现18MΩ·cm才可以回收利用。原本的治疗鑫霖环保不能足够新出台的《电子无线化工水环保问题物排出标准单位》(GB39731-2020)专门排出卫生防护距离。 废液因素亮点 具体影响物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(粒度分布0.1-1μm) 特种追求 :TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L 水的硬度功能 :低导电率(<50μS/cm)但硅类化合物特性多样化 整理新鑫霖环保图 特色化运用"梯级膜溶合+电去亚铁离子"乐队组合施工工艺: 微滤预除理 :1μm工业陶瓷膜截拦大粉末硅,通量稳定80LMH 化合物互相交换光敏树脂 :D201大孔光敏树脂选定 性离心分离硅酸分子结构 两级RO体系 :第一次段回收并率60%,第一段应用高脱硼膜pcb板 EDI电去阴离子 :功率黏度2A/m²,持继清除残余物阴离子 UV紫外线臭氧消毒 :254nm红外光谱线的用药量40mJ/cm² 技术设备突出 发展專用阻硅剂(巧妙胺类pp物),减缓膜水污染时间是3倍 EDI引擎创新性流道设计构思,硅避开率加快至99.8% 在线上硅了解仪(测量方法范围图0.1-500μg/L)建立招商精准保持 执行成效明显 经三是方检查: 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L下降0.3μg/L 设备回收分类处理率从原40%提高自己至68% 膜换成时间是延长至至5年,年执行的成本减少35%

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