某半导体行业制造技术品牌因晶圆清洁工作工步有含氨废污水,的水量200吨/天。废污一般的水都除氯离子外还所含氟化物和轻微血本属,处理困难程度大。立即直接环保标准单位让氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生产废水的成分及特征
晶圆洁净废液(重点源):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀加工过程化工废水:含微量分析铜、镍等天价属,pH值上下波动大
CMP研磨机生产废水:含硅颗料及氧化还原电位
工作工艺设备具体流程
应用"化工石雕文化沉淀+膜剥离+折点氯化"结合施工工艺:
预治理
:加药系统CaCl2除氟,操纵pH在7.5-8.
反渗透装置设计
:清理0.01μm以内可吸入颗粒物
反融入溶缩
:将氯离子溶缩至1000mg/L上文
折点氯化
:精准度操纵氯添加量,将化学需氧量变为为离氮气
阳离子互转
:有保障天价属标准
然后成果
化学需氧量平衡<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属含碳量大于验测限
水中水回用率达75%
工业废水有量变少40%